Title:
波面センサを用いて湾曲波面を測定する測定方法及び測定装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019523881
Kind Code:
A
Abstract:
単純な構造の手段を用いて湾曲波面を正確に測定することに関して、波面センサを用いて湾曲波面を測定する測定方法が示され、湾曲波面に沿う異なる位置での湾曲波面の局所的な勾配を判断するために、複数の測定が、異なる位置で少なくとも１つの波面センサを用いて実施される。その測定方法は、接線方向に、波面センサの光入射面を湾曲波面に倣わせる場面ごとに、複数の測定が実施されることを特徴とする。波面センサを用いて湾曲波面を測定する測定装置も示される。
Inventors:
Sitter, Georg
Teal, Marx
Paris, Rene
Ungel, Severin
Yeo, Han Eun
Teal, Marx
Paris, Rene
Ungel, Severin
Yeo, Han Eun
Application Number:
JP2018565778A
Publication Date:
August 29, 2019
Filing Date:
April 20, 2017
Export Citation:
Assignee:
Micro-Epsilon Optronics GmbH
International Classes:
G01M11/02
Attorney, Agent or Firm:
Towa Nagisa International Patent Office