Title:
スパッタ源のためのパルス形状コントローラ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019532173
Kind Code:
A
Abstract:
本書に記載の実施形態は、基板処理システムのパルス制御システムに関する。パルス制御システムは、電源、システムコントローラ、及びパルス形状コントローラを含む。パルス形状コントローラは電源に連結され、システムコントローラと通信を行う。パルス形状コントローラは、第１のスイッチアセンブリと第２のスイッチアセンブリを含む。第１のスイッチアセンブリは、第１の端部と第２の端部を有する第１のスイッチを含む。第１のスイッチは開放状態と閉鎖状態との間で設定可能である。第２のスイッチアセンブリは、第１の端部と第２の端部を有する第２のスイッチを含む。第１のスイッチは閉鎖状態にあり、第２のスイッチは開放状態にある。閉鎖状態にある第１のスイッチは、電源によって供給されるパルスが、パルス形状コントローラを介して伝わることができるように構成されている。【選択図】図２
Inventors:
Stowell, Michael W.
Babayan, Viacheslav
Riu, Chin
Hwa, Chung Chan
Babayan, Viacheslav
Riu, Chin
Hwa, Chung Chan
Application Number:
JP2019507823A
Publication Date:
November 07, 2019
Filing Date:
July 18, 2017
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C23C14/34; C23C14/35; H05H1/46
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda/Kobayashi Patent Business Corporation