Title:
構造化シード層
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019535534
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、構造化シード層の上にカーボンナノチューブ（１６）を堆積させるために構造的シード層を形成するための方法に関し、先ず基板（１）上にコーティングされた金属層（２）がレーザービーム（４）によりエネルギーを与えられることによって、金属層（２）が孤立した島（３）に変形され、レーザービーム（４）が断面において直線状であるビーム（５）に拡大され、金属層（２）の直線状の露光領域（１５）が同時にそれに曝され、その露光領域（１５）は金属層（２）上での延在方向に対して横方向に移動する。その方法を実行するための装置は、金属層（２）をコーティングされた基板（１）を搬送するための手段（９，１０）およびレーザービーム（４）を発生するためのレーザ（６）と、直線状の露光領域（１５）を生成するためにレーザービームを拡大するための手段（７）とを有し、その手段（７）は、直線状の露光領域（１５）が基板（１）の搬送方向に対して垂直に延在するように構成されている。【選択図】図１
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Inventors:
Cinler, Bernd
Application Number:
JP2019546067A
Publication Date:
December 12, 2019
Filing Date:
November 08, 2017
Export Citation:
Assignee:
Ixtron, S.E.
International Classes:
B23K26/352; B23K26/073
Domestic Patent References:
| JP2007214580A | 2007-08-23 | |||
| JP2004297058A | 2004-10-21 | |||
| JP2011174097A | 2011-09-08 |
Foreign References:
| WO2014192955A1 | 2014-12-04 |
Attorney, Agent or Firm:
Takashiro Kojima
Noriko Kawai
Noriko Kawai