Title:
ナノコーティング装置用の遊星回転棚装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019537669
Kind Code:
A
Abstract:
本発明はナノコーティング装置用の遊星回転棚装置に関し、真空コーティングの技術分野に属する。該装置では、チャンバーの天井部が排気口に接続され、チャンバーの中心軸の位置に中空管が取り付けられ、中空管の上端が排気口に接続され、チャンバーの底部に回転モータが取り付けられ、回転モータに遊星回転棚が取り付けられ、前記遊星回転棚において、回転軸が回転モータに接続され、回転軸が中空管と同軸であり、回転軸に回転載置棚が固定して設けられ、回転載置棚に少なくとも２本の遊星回転軸が対称的に設けられ、遊星回転軸に少なくとも１層の載置台が設けられ、載置台に処理対象のワークが配置される。本発明の有益な効果について、コーティング中、遊星回転棚の公転と自転の二重回転が同時に行い続けることで、各領域での化学モノマーガスの密度ムラに起因する、一定領域のワークのコーティングの厚さムラを回避することができ、また、遊星回転棚の回転によって、チャンバー内に注入された化学モノマーガスの十分な均一混合を容易にすることができる。【選択図】図１
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Inventors:
Soken
Application Number:
JP2019527245A
Publication Date:
December 26, 2019
Filing Date:
November 24, 2017
Export Citation:
Assignee:
JIANGSU FAVORED NANOTECHNOLOGY CO., LTD
International Classes:
C23C14/50; C23C16/44; C23C16/50
Domestic Patent References:
| JPH09157844A | 1997-06-17 | |||
| JPH11204508A | 1999-07-30 | |||
| JPS61110768A | 1986-05-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Cui Hailong
Takayuki Kawai
Takayuki Kawai