Title:
真空引きプロセスを制御して作動させるための真空弁システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019537693
Kind Code:
A
Abstract:
真空弁と制御ユニットとから成る弁システムであって、前記真空弁は弁座を有し、該弁座は、弁開口と、該弁開口を包囲する第１のシール面とを有し、前記真空弁は、弁閉鎖部材を、前記第１のシール面に対応する第２のシール面を備えた前記弁開口を実質的に気密に閉鎖するため有している。前記弁閉鎖部材と連結された駆動ユニットは、前記弁閉鎖部材が、該弁閉鎖部材の各状態に依存する各弁開口状態を供与するために、規定されたように可変かつ調節可能に形成されている。前記制御ユニットは、弁開口状態の的確な変化もしくは調節を供与する制御プロセスを、現測定プロセスパラメータの制御値および目標値に基づき前記駆動ユニットを制御することにより実施するように形成されている。前記制御ユニットは、前記制御プロセスを監視する検査機能を有し、該検査機能は、該検査機能を実施する際に、前記制御プロセスの実施の枠内で該制御プロセスの少なくとも１つの時間区分にわたって前記弁閉鎖部材の一連の状態が検出され、これらの状態が現制御データ（２１ａ）として記憶され、前記現制御データ（２１ａ）は、所定の目標制御データ（２０，２０ａ）と比較され、かつ前記現制御データ（２１ａ）と前記目標制御データ（２０，２０ａ）との比較に基づき、プロセス情報が形成されるように、形成されている。
Inventors:
Christoph Bohm
Daniel Zeitz
Daniel Zeitz
Application Number:
JP2019522878A
Publication Date:
December 26, 2019
Filing Date:
November 02, 2017
Export Citation:
Assignee:
Bat holding arg
International Classes:
F16K51/02; F16K3/18; F16K37/00
Domestic Patent References:
| JP2011039824A | 2011-02-24 | |||
| JP2011134164A | 2011-07-07 | |||
| JP2014098969A | 2014-05-29 |
Foreign References:
| WO2016096399A1 | 2016-06-23 | |||
| US20160169410A1 | 2016-06-16 |
Attorney, Agent or Firm:
Einzel Felix-Reinhard
Morita Taku
Junichi Maekawa
Hiroyasu Ninomiya
Ueshima
Morita Taku
Junichi Maekawa
Hiroyasu Ninomiya
Ueshima