Title:
堆積システムにおいて非接触搬送するためのキャリア、キャリアを非接触搬送するための装置、及び堆積システムにおいてキャリアを非接触搬送するための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020500255
Kind Code:
A
Abstract:
本開示は、堆積システムにおいて非接触搬送するためのキャリア（２００）を提供する。キャリア（２００）は、キャリア（２００）の搬送方向（１）に沿って配設された一または複数の第１の磁石ユニット（２１０）と、キャリア（２００）の端部に配置され且つ搬送方向（１）に沿って変化する幾何学的外形（２２０）を有する被検出可能装置とを含む。【選択図】図２Ａ
Inventors:
Ehmann, Christian Wolfgang
Schoenbach, Christine
Schoenbach, Christine
Application Number:
JP2018559367A
Publication Date:
January 09, 2020
Filing Date:
October 27, 2017
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C23C14/50; C23C14/34; H01L21/677
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda/Kobayashi Patent Business Corporation