Title:
ブロックコポリマーの自己組織化のための新規組成物及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020503406
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、新規スチレン系ポリマーに、並びにこのポリマーと溶剤とを含む新規組成物に関し； ここで該スチレン系ポリマーは１〜１．３の多分散性を有し、更に、該スチレン系ポリマーの各々のポリマー鎖は、構造１）の一つの末端基でキャップされており、式中、Ｌは、直接原子価結合、オキシ（−Ｏ−）、カルボニルオキシ、（−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−）、カーボネート（−Ｏ−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−）からなる群から選択される連結基であり； Ｌ２は、Ｃ１〜Ｃ２０の置換されたもしくは置換されていないアルキレンスペーサ、アリーレンスペーサまたは直接原子価結合であり、Ｒは、水素、ハライド、Ｃ１〜Ｃ２０アルキル部分、またはＣ１〜Ｃ２０アルキルオキシ部分であり、ｍは１〜３の整数であり； そして（１）は、末端基１）を該スチレン系ポリマーのポリマー鎖の末端に結合する直接原子価結合を表す。本発明の他の観点の一つでは、グラフトしたフィルムを基材上に形成するためのこの組成物の使用に関し、及び更に別の観点の一つでは、このグラフトしたフィルムは、誘導自己組織化プロセスに使用し得る。
Inventors:
Wu Hempen
Kim Ji Eun
Shan Jian Hui
Bascaran de la Iraju
Rahman Md-S
Kim Ji Eun
Shan Jian Hui
Bascaran de la Iraju
Rahman Md-S
Application Number:
JP2019533498A
Publication Date:
January 30, 2020
Filing Date:
December 19, 2017
Export Citation:
Assignee:
Ridgefield Acquisition
International Classes:
C08F8/00; G03F7/20; H01L21/027
Domestic Patent References:
| JP2015528026A | 2015-09-24 | |||
| JP2018503241A | 2018-02-01 | |||
| JP2003524668A | 2003-08-19 | |||
| JP2003292529A | 2003-10-15 | |||
| JPH0892377A | 1996-04-09 |
Other References:
"AB- and ABC-type di- and triblock copolymers of poly[styrene-block-(ε-caprolactone)] and poly[styre", POLYMER INTERNATIONAL, vol. 59, JPN6021001888, 2010, pages 145 - 154, ISSN: 0004431398
SYNTHESIS OF BRANCHED POLYMERS BY MEANS OF LIVING ANIONIC POLYMERIZATION. 12. ANIONIC SYNTHESIS OF W, MACROMOLECULES, vol. 35, JPN6021001886, 2002, pages 7224 - 7231, ISSN: 0004431399
SYNTHESIS OF BRANCHED POLYMERS BY MEANS OF LIVING ANIONIC POLYMERIZATION. 12. ANIONIC SYNTHESIS OF W, MACROMOLECULES, vol. 35, JPN6021001886, 2002, pages 7224 - 7231, ISSN: 0004431399
Attorney, Agent or Firm:
Mitsufumi Esaki
Blacksmith
Katsunori Uenishi
Ichiro Torayama
Blacksmith
Katsunori Uenishi
Ichiro Torayama