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Patent Searching and Data


Title:
インシトゥ監視からの測定値の、抵抗率に基づく調整
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020505759
Kind Code:
A
Abstract:
第１の抵抗率値と、第１の抵抗率値を有する導電層の厚さをインシトゥ監視システムからの信号に関連付ける相関関数とが、格納される。基板上の導電層についての第２の抵抗率値が、受け取られる。導電層の厚さに依存する一続きの信号値が、研磨中の基板を監視するインシトゥ電磁誘導監視システムから受け取られる。一続きの厚さ値が、一続きの信号値および相関関数に基づいて生成される。一続きの厚さ値の少なくともいくつかの厚さ値について、第１の抵抗率値と第２の抵抗率値との間の変動を補償する調整された厚さ値が生成されて、一続きの調整された厚さ値を生成する。一続きの調整された厚さ値に基づいて、研磨終点が検出されるか、または研磨パラメータの調整が決定される。【選択図】図６

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Inventors:
Shu, Kun
Carlsson, Ingemar
Shen, Sihar
Swedek, Bogslaw A.
Ryu, Chu
Application Number:
JP2019537296A
Publication Date:
February 20, 2020
Filing Date:
January 10, 2018
Export Citation:
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Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
H01L21/304; B24B37/013; B24B49/10
Domestic Patent References:
JP2012506152A2012-03-08
JP2008004648A2008-01-10
Foreign References:
US20150224623A12015-08-13
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda/Kobayashi Patent Business Corporation



 
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