Title:
複数個の光学プローブを有するマルチスポット分析システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021521452
Kind Code:
A
Abstract:
標本を分析するシステムであり、照明源及びその照明源に光学結合された複数本の送光ファイバと、検出器及びその検出器に光学結合された複数本の受光ファイバとを有する。本システムは、更に、それら複数本の送光ファイバのうち対応するもの及びそれら複数本の受光ファイバのうち対応するものに結合された複数個のプローブを有する。それら複数個のプローブが、標本表面のうち対応部分を照明するよう構成され、且つ標本表面のうち当該対応部分にて反射、屈折又は輻射された照明を受光するよう構成される。本システムは、更に、それら複数本の送光ファイバのうち対応するものを照明源に光学結合させるよう構成され及び／又はそれら複数本の受光ファイバのうち対応するものを検出器に光学結合させるよう構成された１個又は複数個のスイッチ及び／又はスプリッタを備えうる。
Inventors:
Dai Prasanna
Mueller Dieter
Chen Dong
Chen Pen
Zamek Steve
Cabaldiev Daniel
Buttner Alexander
Mueller Dieter
Chen Dong
Chen Pen
Zamek Steve
Cabaldiev Daniel
Buttner Alexander
Application Number:
JP2020556778A
Publication Date:
August 26, 2021
Filing Date:
April 12, 2019
Export Citation:
Assignee:
KLA Corporation
International Classes:
G01N21/01
Domestic Patent References:
| JP2014027960A | 2014-02-13 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Corporation yki International Patent Office