Title:
複合光学ミラーのミラー支持体およびその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021523411
Kind Code:
A
Abstract:
ダイヤモンド粒子強化アルミニウム複合材料を含むミラー本体（２）と、ミラー本体（２）上に配置された研磨層（３）とを備えたミラー支持体（１）が記載されている。ダイヤモンド粒子強化アルミニウム複合材料中のダイヤモンド粒子の含有量は、５質量％〜５０質量％であり、かつミラー本体（２）の熱膨張係数が研磨層（３）の熱膨張係数に適応するように選択される。さらに、ミラー支持体（１）の製造方法について説明する。【選択図】図１Ｂ
Inventors:
Kinast Yang
Rise Stephan
Rise Stephan
Application Number:
JP2020562771A
Publication Date:
September 02, 2021
Filing Date:
May 08, 2019
Export Citation:
Assignee:
Fraunhofer-Gesellschaftsza Felderung der Angewanten Vorschung A. Fao
International Classes:
G02B5/08; B24B13/00
Domestic Patent References:
| JP2015516299A | 2015-06-11 |
Foreign References:
| EP2065734A1 | 2009-06-03 | |||
| DE102005026418A1 | 2006-12-21 | |||
| WO2013017144A1 | 2013-02-07 | |||
| US20160097885A1 | 2016-04-07 | |||
| US9086229B1 | 2015-07-21 |
Attorney, Agent or Firm:
Washeda International Patent Office