Title:
紫外線照射装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3168328
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】熱による発光ダイオードの動作不安定、照度不足、照射不均一等の問題を解決する紫外線照射装置を提供する。【解決手段】ダイシングフレーム７２を持つ紫外線硬化フイルム７３に貼り付けられた半導体ウエハ７１が被照射体７０である紫外線照射装置において、被照射体を受ける載置部１０と、該載置部の下側に設けられた光源部２０と、該光源部が載置部の下側を移動することを可能にする移動機構３０と、光源部を冷却する冷却装置を備え、冷却装置は冷却板と放熱器で構成され、該冷却板は光源部と密着した構造であることを特徴とする。【選択図】図３
Inventors:
Takahira
Application Number:
JP2011001656U
Publication Date:
June 09, 2011
Filing Date:
March 26, 2011
Export Citation:
Assignee:
Technovision Co., Ltd.
International Classes:
H01L33/64