Title:
基板検出装置及び基板検出装置を具備する基板処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3169676
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】マッピング作業時に発生したマッピングエラーにより不必要なダウンタイム時間を発生させることなく、適切にマッピング作業を行うことのできる基板検出装置を提供すること。【解決手段】カセット内に上下方向に多段に収容された基板の収容状態を検出するための基板検出装置において、光を水平方向に照射する発光部４１ａと、該光を受光する受光部４１ｂとを有し、基板の収容状態を光学的に検出する光学センサ４１と、光学センサ４１の発光部４１ａと受光部４１ｂをそれぞれ支持する２つの支持部材４２ａ，４２ｂと、これらを支持し各支持部材４２ａ，４２ｂ間に水平方向に延在する支持アーム４４と、支持アーム４４を昇降させるための昇降機構４６と、支持部材４２ａ，４２ｂ又は支持アーム４４の少なくともいずれかに設けられ、光学センサ４１の振動を検知する振動計４３と、を具備する。【選択図】 図５
Inventors:
Hiroki Harada
Application Number:
JP2011003043U
Publication Date:
August 11, 2011
Filing Date:
May 31, 2011
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
H01L21/677
Attorney, Agent or Firm:
Kikuhiko Nakamoto