Title:
処理液供給配管回路
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3189821
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】貯留機構を使って処理液供給配管回路内に滞留する処理液中の溶存気体の脱気処理の機会を増やすと共に、フィルタのフィルトレーション回数を増やすことによってトラップ液中異物を濾材でトラップさせてクリーン度を向上させることを連続的に行える処理液供給配管回路を提供する。【解決手段】液処理装置において、液供給部から供給配管７２を通じて供給される処理液を一旦貯留する中間タンク７４と、中間タンクの上方に接続され内部の処理液を減圧して脱気させるための排気配管と、中間タンクの出口側から処理液を吸液し吐出動作を連続させる送液ポンプと、送液ポンプの吐出側となる送液ポンプ二次側配管と液供給ノズルとの間の配管に設けられ液供給ノズル側に向かう処理液の流れの開閉を行なう開閉バルブと、開閉バルブの一次側の配管から分岐されて中間タンクに連通して処理液を循環する循環配管１１６と、循環配管の処理液の流れを開閉する循環バルブ１１７とを備える。【選択図】図１
Inventors:
Tomonobu Furusho
Taku Sasa
Taku Sasa
Application Number:
JP2014000239U
Publication Date:
April 03, 2014
Filing Date:
January 20, 2014
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Mihiro Uchino