Title:
周期パターン中の欠陥検出方法及び装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3616783
Kind Code:
B2
Inventors:
Takayuki Okamoto
Ichiro Yamaguchi
Ichiro Yamaguchi
Application Number:
JP6571596A
Publication Date:
February 02, 2005
Filing Date:
March 22, 1996
Export Citation:
Assignee:
RIKEN
International Classes:
G01B11/30; G01M11/00; G01N21/88; G01N21/956; G02F1/35; H01L21/027; H01L21/66; (IPC1-7): G01N21/956; G01B11/30; G01M11/00; G02F1/35; H01L21/027; H01L21/66
Domestic Patent References:
| JP9079996A | ||||
| JP6258998A | ||||
| JP5026819A | ||||
| JP1300382A | ||||
| JP62054284A |
Foreign References:
| WO1994005008A1 |
Other References:
レーザー科学研究,理化学研究所,1997年 9月30日,第19号,p.99~101
Japanese Journal of Applied Physics 〈Part 2 Letters〉,応用物理学欧文誌刊行会,1997年 8月 1日,Vol.36 No.8A,p.L1012~L1014
Optics Letters,米国,1997年 3月 1日,Vol.22 No.5,p.337~339
1996 International Topical Meeting on Optical Computing,1996年 4月21日,Technical Digest Vol.1,p.248~249
レーザー科学研究,理化学研究所,1994年 9月30日,第16号,p.132~134
光技術コンタクト,(社)日本オプトメカトロニクス協会,1993年10月20日,Vol.31 No.10,p.566~575
レーザー科学研究,理化学研究所,1992年 9月25日,第14号,p.182~184
Japanese Journal of Applied Physics 〈Part 2 Letters〉,応用物理学欧文誌刊行会,1997年 8月 1日,Vol.36 No.8A,p.L1012~L1014
Optics Letters,米国,1997年 3月 1日,Vol.22 No.5,p.337~339
1996 International Topical Meeting on Optical Computing,1996年 4月21日,Technical Digest Vol.1,p.248~249
レーザー科学研究,理化学研究所,1994年 9月30日,第16号,p.132~134
光技術コンタクト,(社)日本オプトメカトロニクス協会,1993年10月20日,Vol.31 No.10,p.566~575
レーザー科学研究,理化学研究所,1992年 9月25日,第14号,p.182~184
Attorney, Agent or Firm:
Minoru Hotta