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Patent Searching and Data


Title:
低応力、高温フィルム用多環式ポリマーに基づく感光性組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3721190
Kind Code:
B1
Inventors:
クリス・アパニウス
マット・アパニウス
エドマンド・エルス
平野 孝
楠木 淳也
ロバート・シック
Application Number:
JP2005136207A
Publication Date:
November 30, 2005
Filing Date:
May 09, 2005
Export Citation:
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Assignee:
プロメラス, エルエルシー
International Classes:
C08F32/00; C08F232/00; C08F234/02; C08G59/32; C08G61/06; G03F7/038; H01L21/027; (IPC1-7): C08F232/00; C08F234/02; G03F7/038
Foreign References:
WO2004006020A1
Attorney, Agent or Firm:
社本 一夫
増井 忠弐
小林 泰
千葉 昭男
富田 博行
寺地 拓己