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Patent Searching and Data


Title:
バックボーンにラクトンが含まれた感光性ポリマーよりなるレジスト組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3749674
Kind Code:
B2
Inventors:
尹 廣 燮
鄭 東 垣
李 始 炯
金 賢 友
李 淑
禹 相 均
崔 相 俊
Application Number:
JP2001211147A
Publication Date:
March 01, 2006
Filing Date:
July 11, 2001
Export Citation:
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Assignee:
三星電子株式会社
Samsung Electronics Co.,Ltd.
International Classes:
G03F7/039; C08F220/18; C08F222/06; C08F232/04; C08F234/02; G03F7/004; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP11222460A
JP2001081139A
JP2002006502A
Foreign References:
WO1999050322A1
Attorney, Agent or Firm:
八田 幹雄
野上 敦
奈良 泰男
齋藤 悦子
宇谷 勝幸