Title:
電子顕微鏡
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3987636
Kind Code:
B2
Inventors:
Nesaki saki Toshiaki
Hiroyuki Kobayashi
Hiroyuki Kobayashi
Application Number:
JP15590198A
Publication Date:
October 10, 2007
Filing Date:
June 04, 1998
Export Citation:
Assignee:
株式会社日立製作所
株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ
株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ
International Classes:
H01J37/22
Domestic Patent References:
| JP6276247A | ||||
| JP59221956A | ||||
| JP6275226A |
Attorney, Agent or Firm:
Yukihiko Takada