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Patent Searching and Data


Title:
不飽和単量体、重合体、化学増幅レジスト組成物、および、パターン形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4139948
Kind Code:
B2
Inventors:
前田 勝美
中野 嘉一郎
Application Number:
JP2002190827A
Publication Date:
August 27, 2008
Filing Date:
June 28, 2002
Export Citation:
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Assignee:
日本電気株式会社
International Classes:
C08F20/28; C07D307/92; C07D307/93; C07D493/22; C08F32/08; C08G61/08; C08G61/12; G03F7/039; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP2002371114A
JP2002308866A
JP2001242627A
Foreign References:
WO2002048217A1
Attorney, Agent or Firm:
宮崎 昭夫
緒方 雅昭
石橋 政幸