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Patent Searching and Data


Title:
基板保持装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4153582
Kind Code:
B2
Inventors:
大田黒 洋
Application Number:
JP6535398A
Publication Date:
September 24, 2008
Filing Date:
March 16, 1998
Export Citation:
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Assignee:
東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社
International Classes:
B23Q3/08; F16B47/00; G02F1/13; G02F1/1333; G02F1/1339
Domestic Patent References:
JP9281513A
JP5119325A
JP10268325A
JP2291522A
Attorney, Agent or Firm:
鈴江 武彦
河野 哲
中村 誠
蔵田 昌俊
峰 隆司
福原 淑弘
村松 貞男
橋本 良郎