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Title:
ハイドレート構造を有するフッ素含有感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4160374
Kind Code:
B2
Inventors:
尹 広 燮
禹 相 均
宋 基 鎔
崔 相 俊
Application Number:
JP2002368107A
Publication Date:
October 01, 2008
Filing Date:
December 19, 2002
Export Citation:
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Assignee:
三星電子株式会社
SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD.
International Classes:
C08F32/04; C08F12/14; C08F32/08; C08F212/06; C08F220/10; C08F232/08; G03F7/004; G03F7/039; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP2003137940A
JP2002311588A
JP2001022075A
Attorney, Agent or Firm:
八田 幹雄
野上 敦
奈良 泰男
齋藤 悦子
宇谷 勝幸