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Title:
2次ヒドロキシル基を有するアルキル環状オレフィンとアクリル化合物の重合体及びこれらを含んだ化学増幅型レジスト組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4200145
Kind Code:
B2
Inventors:
ユ ヒュンサン
パク ユヒョン
ソ ドンチュル
リム ユンテク
チョ ソンダク
ソン チヨン
キム キョンムン
Application Number:
JP2005137645A
Publication Date:
December 24, 2008
Filing Date:
May 10, 2005
Export Citation:
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Assignee:
コリア クンホ ペトロケミカル カンパニー リミテッド
International Classes:
C08F232/08; C08F220/12; G03F7/039; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP2002012631A
JP2000103819A
JP2002202607A
Attorney, Agent or Firm:
正林 真之
藤田 和子