Title:
二次電子増倍素子を使用した測定方法及び二次電子増倍素子を使用した装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4216375
Kind Code:
B2
Inventors:
Akimichi Hitoshi
Kyoko Takeuchi
Yasushi Tsuji
Arakawa Ichiro
Kyoko Takeuchi
Yasushi Tsuji
Arakawa Ichiro
Application Number:
JP25131198A
Publication Date:
January 28, 2009
Filing Date:
September 04, 1998
Export Citation:
Assignee:
ULVAC, Inc.
International Classes:
G01L21/30
Domestic Patent References:
| JP63167254A | ||||
| JP5325879A | ||||
| JP10078368A | ||||
| JP6027056A | ||||
| JP10048161A | ||||
| JP10185844A | ||||
| JP7209215A | ||||
| JP5264388A | ||||
| JP7099034A | ||||
| JP5133833A | ||||
| JP59091330A |
Other References:
秋道斉、竹内協子、辻泰、荒川一郎,軸対称透過形真空計の感度係数の径時変化とその補正法,第39回真空に関する連合講演会講演予稿集,日本,日本真空協会,1998年11月11日,P.113-114
秋道斉、竹内協子、辻泰、荒川一郎,真空計の感度係数の経時変化とその補正法,真空,日本,日本真空協会,1999年 3月20日,P.442
秋道斉、竹内協子、辻泰、荒川一郎,真空計の感度係数の経時変化とその補正法,真空,日本,日本真空協会,1999年 3月20日,P.442
Attorney, Agent or Firm:
Yoshihiro Shimizu
Shinichi Abe
Yuji Tsujida
Tashiro Sakuo
Etsuo Machida
Launch Yoji
Shinichi Abe
Yuji Tsujida
Tashiro Sakuo
Etsuo Machida
Launch Yoji