Title:
一体化した金属絶縁体金属コンデンサおよび金属ゲート・トランジスタの形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4256742
Kind Code:
B2
Abstract:
An integrated circuit structure is disclosed that comprises a pair of capacitors, each having metal plates separated by an insulator, and metal gate semiconductor transistors electrically connected to the capacitors. The metal gate of the transistors and one of the metal plates of each of the capacitors comprise the same metal level in the integrated circuit structure. More specifically, each of the capacitors comprise a vertical capacitor having an upper metal plate vertically over a lower metal plate and each metal gate of the transistors and each upper metal plate of the capacitors comprise the same metal level in the integrated circuit structure.
Inventors:
クウォン・ホン・ウォン
ルイス・エル・シュー
ローレンス・エイ・クレベンジャー
ルイス・エル・シュー
ローレンス・エイ・クレベンジャー
Application Number:
JP2003288276A
Publication Date:
April 22, 2009
Filing Date:
August 06, 2003
Export Citation:
Assignee:
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ ＢＵＳＩＮＥＳＳ ＭＡＳＣＨＩＮＥＳ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ
International Classes:
H01L21/8242; H01L27/10; H01L21/28; H01L21/336; H01L27/06; H01L27/108; H01L29/423; H01L29/49; H01L29/51
Attorney, Agent or Firm:
上野 剛史
坂口 博
太佐 種一
市位 嘉宏
坂口 博
太佐 種一
市位 嘉宏