Title:
蒸着膜検査方法及び蒸着膜検査システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4379057
Kind Code:
B2
Inventors:
Hideo Kurashima
Yasutoshi Onozawa
Ryo Kobayashi
Namiki Tsunehisa
Yasutoshi Onozawa
Ryo Kobayashi
Namiki Tsunehisa
Application Number:
JP2003314628A
Publication Date:
December 09, 2009
Filing Date:
September 05, 2003
Export Citation:
Assignee:
Toyo Seikan Co., Ltd.
International Classes:
G01N21/27; G01N21/73; C23C16/52
Domestic Patent References:
| JP2001284322A | ||||
| JP4136746A | ||||
| JP10031039A |
Other References:
丸山 外3名,ECR型プラズマCVD法により合成された炭素薄膜の表面組織とプラズマ発光スペクトル強度,日本セラミックス協会学術論文誌,1991年,99[8],720-722
Attorney, Agent or Firm:
Kihei Watanabe