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Title:
トロイダル・プラズマ・チャンバ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4431183
Kind Code:
B2
Inventors:
スミス,ドナルド ケイ.
チェン,ジン
ホルバー,ウィリアム エム.
ジョージアス,エリック
Application Number:
JP2008126850A
Publication Date:
March 10, 2010
Filing Date:
May 14, 2008
Export Citation:
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Assignee:
エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド
MKS INSTRUMENTS,INCORPORATED
International Classes:
H05H1/46; C23C16/44; C23C16/452; C23C16/505; H01J27/16; H01J37/32; H01L21/205; H01L21/302; H01L21/3065; H01L21/31
Domestic Patent References:
JP61080088A
JP59221694A
JP7176524A
JP8292278A
JP60048195U
JP2260399A
JP1122363A
JP64000699A
JP8227800A
JP3067497A
JP7183097A
JP9007795A
JP2070063A
JP4092414A
JP60056298U
JP63210797A
JP5106053A
JP61001024A
JP10508985A
Foreign References:
US4431898
WO1996015545A1
Attorney, Agent or Firm:
小野 新次郎
社本 一夫
小林 泰
千葉 昭男
富田 博行



 
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