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Title:
CVD加熱用のLED加熱ランプアレイ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4486885
Kind Code:
B2
Inventors:
プタック ジョン シー.
Application Number:
JP2004527614A
Publication Date:
June 23, 2010
Filing Date:
July 18, 2003
Export Citation:
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Assignee:
エーエスエム アメリカ インコーポレイテッド
International Classes:
C23C16/46; H01L21/205; F27B5/14; F27B17/00; F27D11/00; F27D11/02; F27D19/00; F27D21/00; H01L21/00; H01L21/26
Domestic Patent References:
JP2002141294A
JP3500549A
JP2002318364A
JP10229112A
Attorney, Agent or Firm:
八木澤 史彦
鈴木 正夫