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Title:
バッチ式熱処理装置及びその制御方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4493192
Kind Code:
B2
Inventors:
王 文凌
坂本 浩一
鈴木 富士雄
安原 もゆる
プラディープ パンディ
スニル シャー
マーク エリクソン
Application Number:
JP2000278526A
Publication Date:
June 30, 2010
Filing Date:
September 13, 2000
Export Citation:
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Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
G05D23/19; H01L21/324; C23C16/46; C23C16/52; C30B31/18; F27B5/18; F27D19/00; F27D21/00; H01L21/00; H01L21/205; H01L21/22
Domestic Patent References:
JP7283158A
JP3145121A
JP9133588A
JP7294569A
JP3057799A
Attorney, Agent or Firm:
木村 満



 
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