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Title:
半導体可変コンデンサ及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4602494
Kind Code:
B2
Inventors:
アレキサンダー カルニツキー
アラン クレイマー
ビト ファッブリツィオ
ジオバッニ ゴッジーニ
ブサン グプタ
マルコ サバティーニ
Application Number:
JP702699A
Publication Date:
December 22, 2010
Filing Date:
January 13, 1999
Export Citation:
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Assignee:
エスティーマイクロエレクトロニクス,インコーポレイテッド
STMicroelectronics,Inc
International Classes:
H01G7/00; H01L27/04; G01B7/28; G01L9/00; G01P15/08; G01P15/125; H01L21/822
Domestic Patent References:
JP57125355A
JP7306221A
JP8110355A
JP9126918A
JP8070130A
Attorney, Agent or Firm:
小橋 正明