Title:
強誘電体層を有する層構造体、および層構造体の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4746161
Kind Code:
B6
Inventors:
Dana Pitzer
Liner ブルフ house
Liner ブルフ house
Application Number:
JP1998508367A
Publication Date:
October 26, 2011
Export Citation:
Assignee:
ピレオス Limited Pyreos Ltd.
International Classes:
H01L21/822; H01L21/316; H01L41/09; H01L27/04; H01L21/822; H01L27/04; H01L41/09; H01L21/316
Attorney, Agent or Firm:
アインゼル・フェリックス＝ラインハルト
久野 琢也
二宮 浩康
山崎 利臣
星 公弘
矢野 敏雄
高橋 佳大
久野 琢也
二宮 浩康
山崎 利臣
星 公弘
矢野 敏雄
高橋 佳大