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Patent Searching and Data


Title:
マンドレルにスクラバブラシを装着するための方法及び装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4802106
Kind Code:
B2
Inventors:
ヨドブスキイ ジョセフ
ノゴ タイ ティー
ボルフォブスキイ レオン
コウリン アンドウス
Application Number:
JP2006551508A
Publication Date:
October 26, 2011
Filing Date:
January 28, 2005
Export Citation:
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Assignee:
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
H01L21/304; A46B7/10; A46B13/00; A46D1/00; H01L21/00
Domestic Patent References:
JP11290789A
JP2001293439A
JP2001237210A
JP62501819A
Attorney, Agent or Firm:
安齋 嘉章