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Patent Searching and Data


Title:
リソグラフィー用途のための熱硬化型下層
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5074529
Kind Code:
B2
Inventors:
ビノード ビー. デ
オグニアン エヌ. ディモフ
ステファニー ジェイ. ディロッカー
Application Number:
JP2009550997A
Publication Date:
November 14, 2012
Filing Date:
February 21, 2008
Export Citation:
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Assignee:
フジフィルム・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・インコーポレイテッド
FujiFilm Electronic Materials USA, Inc.
International Classes:
C08L33/00; C08F212/14; C08F220/00; C08F232/00; C08L25/18; C08L45/00; G03F7/039; G03F7/11; G03F7/26; H01L21/027; H05K3/00; C08F8/12
Domestic Patent References:
JP2005049810A
JP2005527673A
Foreign References:
US20020146638
Attorney, Agent or Firm:
矢野 敏雄
久野 琢也
高橋 佳大
星 公弘
二宮 浩康
アインゼル・フェリックス=ラインハルト