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Patent Searching and Data


Title:
フォトリソグラフィーのための組成物および方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5084216
Kind Code:
B2
Inventors:
ダヤン・ワン
チャン-バイ・スー
Application Number:
JP2006271751A
Publication Date:
November 28, 2012
Filing Date:
October 03, 2006
Export Citation:
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Assignee:
ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
International Classes:
G03F7/11; C08F232/08; G03F7/38; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP2006308814A
JP2006163345A
Foreign References:
WO2005088397A1
WO2008035640A1
WO2006091523A1
Attorney, Agent or Firm:
特許業務法人センダ国際特許事務所
近藤 実
橋本 幸治



 
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