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Title:
ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5136792
Kind Code:
B2
Inventors:
竹村 勝也
増永 恵一
土門 大将
堤箸 正義
Application Number:
JP2008297828A
Publication Date:
February 06, 2013
Filing Date:
November 21, 2008
Export Citation:
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Assignee:
信越化学工業株式会社
International Classes:
G03F7/039; C08F20/30; C08F212/14; C08F220/30; C08F232/00; G03F7/004; G03F7/38; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP7325402A
JP2007279699A
JP2008096951A
JP2007140289A
JP2004085657A
JP2000171977A
Attorney, Agent or Firm:
小島 隆司
重松 沙織
小林 克成
石川 武史



 
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