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Patent Searching and Data


Title:
レジスト保護膜材料及びパターン形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5247035
Kind Code:
B2
Inventors:
畠山 潤
長谷川 幸士
原田 裕次
Application Number:
JP2007012135A
Publication Date:
July 24, 2013
Filing Date:
January 23, 2007
Export Citation:
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Assignee:
信越化学工業株式会社
International Classes:
G03F7/11; C08F220/28; C08F232/08; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP2006335916A
JP2005316352A
JP2005255742A
JP2004271844A
JP2002155118A
JP4614092B2
Foreign References:
WO2006035790A1
WO2005108444A1
Attorney, Agent or Firm:
小島 隆司
重松 沙織
小林 克成
石川 武史
正木 克彦