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Patent Searching and Data


Title:
高熱消散基板を製造する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5271279
Kind Code:
B2
Inventors:
オレグ コノンチャク
ファブリス レタトル
ロバート ランガー
Application Number:
JP2009548755A
Publication Date:
August 21, 2013
Filing Date:
February 08, 2007
Export Citation:
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Assignee:
ソイテック
International Classes:
H01L21/02; C30B25/18; C30B29/38
Domestic Patent References:
JP2004221198A
JP10223870A
Foreign References:
WO2006138422A1
Attorney, Agent or Firm:
谷 義一
阿部 和夫