Title:
スクリーン印刷パターンの位置合せのための強化された視覚システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5615837
Kind Code:
B2
Abstract:
Embodiments of the invention also generally provide a solar cell formation process that includes the formation of metal contacts over heavily doped regions that are formed in a desired pattern on a surface of a substrate. Embodiments of the invention also provide an inspection system and supporting hardware that is used to reliably position a similarly shaped, or patterned, metal contact structure on the patterned heavily doped regions to allow an Ohmic contact to be made. The metal contact structure, such as fingers and busbars, are formed on the heavily doped regions so that a high quality electrical connection can be formed between these two regions.
Inventors:
ガリアッツォ， マルコ
ウェイドマン， ティモシー， ダブリュ．
バッチーニ， アンドレア
パーク， サンホーム（スティーヴ）
ファン， ホンビン
チャン， チェンファ
ウェイドマン， ティモシー， ダブリュ．
バッチーニ， アンドレア
パーク， サンホーム（スティーヴ）
ファン， ホンビン
チャン， チェンファ
Application Number:
JP2011540726A
Publication Date:
October 29, 2014
Filing Date:
October 02, 2009
Export Citation:
Assignee:
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
International Classes:
H01L31/18; H01L31/0224; H01L31/0236
Attorney, Agent or Firm:
Yoshitaka Sonoda
Yoshinori Kobayashi
Yoshinori Kobayashi