Title:
少なくとも１つのシステム絞りを備えた光学結像装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5620039
Kind Code:
B2
Abstract:
An optical imaging device (PL), in particular an objective for semiconductor lithography, is provided with at least one system diaphragm. The system diaphragm comprises a multiplicity of mobile plates, which are rotatably mounted. The plates have a spherical curvature.
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Inventors:
ビーク ヘルマン
ヒューバー マルチン
ヘンツェリンフランコ
ビスコフ トーマス
ゲルリッヒ ベルンハルト
ツェケリー ゲルハルト
グエン ウィ−リーム
ハンフリーズマーティン イ−．
ヒューバー マルチン
ヘンツェリンフランコ
ビスコフ トーマス
ゲルリッヒ ベルンハルト
ツェケリー ゲルハルト
グエン ウィ−リーム
ハンフリーズマーティン イ−．
Application Number:
JP2006522245A
Publication Date:
November 05, 2014
Filing Date:
July 02, 2004
Export Citation:
Assignee:
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
International Classes:
G03B9/02; G02B5/00; G03B9/06; G03F7/20
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Shin Tsubouchi
Tatsuya Sawada
Kazuyuki Tomita
Ken-ichi Shimoji
Shin Tsubouchi
Tatsuya Sawada
Kazuyuki Tomita
Ken-ichi Shimoji