Title:
レジスト用重合体の製造方法、レジスト組成物、および微細パターンが形成された基板の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5620627
Kind Code:
B2
Inventors:
安田 敦
百瀬 陽
百瀬 陽
Application Number:
JP2008012738A
Publication Date:
November 05, 2014
Filing Date:
January 23, 2008
Export Citation:
Assignee:
三菱レイヨン株式会社
International Classes:
C08F2/00; C08F2/06; C08F220/18; G03F7/039; H01L21/027