Title:
ドライエッチング用チャンバー内部材の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5623619
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】気孔率が小さく耐食性の高い溶射皮膜を、簡便に実施することができる溶射法によって、ドライエッチング用チャンバー内部材に形成することができるドライエッチング用チャンバー内部材の製造方法を提供する。【解決手段】プラズマ溶射によってドライエッチング用チャンバー内に使用する部材にイットリア被膜を形成する方法によって解決する。作動ガスとしてH2ガス及びArガスを使用し、H2ガスに対してArガスの流量を増加させることでプラズマジェットの速度を上昇しかつプラズマジェットの温度を低下させて、当該プラズマジェットに対して原料粉末として粒径１０〜２０μｍのイットリア微粉末を投入し、前記部材の表面に溶融したイットリア微粉末を含むプラズマジェットを溶射する。【選択図】図１
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Inventors:
峪田 宜明
曽 珍素
佐古 さや香
曽 珍素
佐古 さや香
Application Number:
JP2013249429A
Publication Date:
November 12, 2014
Filing Date:
December 02, 2013
Export Citation:
Assignee:
倉敷ボーリング機工株式会社
International Classes:
C23C4/12; C23C4/10; H01L21/3065
Domestic Patent References:
| JP2009138231A | 2009-06-25 | |||
| JP2013144833A | 2013-07-25 | |||
| JP2004332081A | 2004-11-25 | |||
| JP2009138231A | 2009-06-25 | |||
| JP2013144833A | 2013-07-25 |
Attorney, Agent or Firm:
Woods Hisao
Woods 廣 3 郎
Atsushi Kimura
Tomohiko Kurozumi
Woods 廣 3 郎
Atsushi Kimura
Tomohiko Kurozumi