Title:
空気圧リニアガイド方式の並列スライダ装置およびその制御方法および測定装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5624916
Kind Code:
B2
Inventors:
直居 薫
石崎 洋一
井内 達人
関口孝一
石崎 洋一
井内 達人
関口孝一
Application Number:
JP2011047009A
Publication Date:
November 12, 2014
Filing Date:
March 03, 2011
Export Citation:
Assignee:
黒田精工株式会社
International Classes:
F16C32/06; F16C29/02; G01B7/06; G01B7/34
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation Oshima patent firm
Oshima Yoichi
Oshima Yoichi