Title:
欠陥検査装置及び欠陥検査方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5628856
Kind Code:
B2
Inventors:
中田 成幸
石原 修二
中原 亮一
石原 修二
中原 亮一
Application Number:
JP2012075813A
Publication Date:
November 19, 2014
Filing Date:
March 29, 2012
Export Citation:
Assignee:
三井造船株式会社
International Classes:
G01N29/14
Attorney, Agent or Firm:
Global IP Tokyo patent business corporation