Title:
アイソレーター装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5629502
Kind Code:
B2
Inventors:
川崎 康司
宮本 実
戸田 俊永
宮本 実
戸田 俊永
Application Number:
JP2010142274A
Publication Date:
November 19, 2014
Filing Date:
June 23, 2010
Export Citation:
Assignee:
株式会社エアレックス
International Classes:
B01L1/00; B01D46/00; F24F7/06
Attorney, Agent or Firm:
Mase けい Ichiro
Yamada 稔
Yamada 稔