Title:
乾式研磨法による脆弱試料薄片の作製法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5633078
Kind Code:
B2
Inventors:
大和田 朗
佐藤 卓見
平林 恵理
永好 けい子
鈴木 正哉
佐藤 卓見
平林 恵理
永好 けい子
鈴木 正哉
Application Number:
JP2012286077A
Publication Date:
December 03, 2014
Filing Date:
December 27, 2012
Export Citation:
Assignee:
独立行政法人産業技術総合研究所
International Classes:
G01N1/32; G01N1/28; G01N1/36; G01N23/225