Title:
直接描画方法および直接描画装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5637771
Kind Code:
B2
Inventors:
山本 昌宏
足立 秀喜
岡崎 雅英
野村 昭寛
秩父 孝夫
足立 秀喜
岡崎 雅英
野村 昭寛
秩父 孝夫
Application Number:
JP2010182149A
Publication Date:
December 10, 2014
Filing Date:
August 17, 2010
Export Citation:
Assignee:
株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
International Classes:
G03F7/20; G03F9/00; H01L21/02; H01L21/027