Title:
感光性樹脂組成物、レジストパターンの製造法、及びハードディスクサスペンション
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5644068
Kind Code:
B2
Inventors:
野北 里花
日高 敬浩
峯岸 知典
日高 敬浩
峯岸 知典
Application Number:
JP2009159595A
Publication Date:
December 24, 2014
Filing Date:
July 06, 2009
Export Citation:
Assignee:
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
International Classes:
G03F7/037; G11B5/60; G11B21/21
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Yoshinori Shimizu
Junichiro Sakamaki
Yoshinori Shimizu
Junichiro Sakamaki