Title:
基板処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5650897
Kind Code:
B2
Inventors:
廣瀬 治道
黒川 禎明
樋口 晃一
菊池 勉
長嶋 裕次
黒川 禎明
樋口 晃一
菊池 勉
長嶋 裕次
Application Number:
JP2009203442A
Publication Date:
January 07, 2015
Filing Date:
September 03, 2009
Export Citation:
Assignee:
芝浦メカトロニクス株式会社
International Classes:
H01L21/304; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Hidekazu Miyoshi
Yukikuni Iwasaki
Masakazu Ito
Toshikazu Takahashi
Toshio Takamatsu
Yukikuni Iwasaki
Masakazu Ito
Toshikazu Takahashi
Toshio Takamatsu