Title:
上に別個の突起を有する均一な本体を有する研磨パッド
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5657178
Kind Code:
B2
Inventors:
バジャッジ， ラジーブ
ホワン， ピン
ケルプリッチ， ロバート
アリソン， ウィリアム シー．
フレンツェル， リチャード
スコット， ダイアン
ホワン， ピン
ケルプリッチ， ロバート
アリソン， ウィリアム シー．
フレンツェル， リチャード
スコット， ダイアン
Application Number:
JP2014511502A
Publication Date:
January 21, 2015
Filing Date:
May 16, 2012
Export Citation:
Assignee:
ネクスプラナー コーポレイション
International Classes:
B24B37/24; B24B37/013; B24B37/11; B24B37/22; B24D3/00; B24D11/00; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Shusaku Yamamoto
Natsuki Morishita
Takatoshi Iida
Daisuke Ishikawa
Kensaku Yamamoto
Natsuki Morishita
Takatoshi Iida
Daisuke Ishikawa
Kensaku Yamamoto