塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体

Title:

塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体

Document Type and Number:

Japanese Patent JP5664701

Kind Code:

B2

Inventors:

松岡伸明
林伸一
榎木田卓

Application Number:

JP2013119047A

Publication Date:

February 04, 2015

Filing Date:

June 05, 2013

Export Citation:

Assignee:

東京エレクトロン株式会社

International Classes:

H01L21/027; G03F7/16; G03F7/30

Attorney, Agent or Firm:

Toshio Inoue
Tomoaki Mitsuida

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