Title:
成膜装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5669306
Kind Code:
B2
Inventors:
大園 修司
山本 裕子
西方 靖
座間 秀昭
山本 裕子
西方 靖
座間 秀昭
Application Number:
JP2010267795A
Publication Date:
February 12, 2015
Filing Date:
November 30, 2010
Export Citation:
Assignee:
株式会社アルバック
International Classes:
C23C14/02; C23C14/58
Attorney, Agent or Firm:
Hiroyuki Kurihara
Katsutoshi Muranaka
Katsutoshi Muranaka