Title:
位置測定システム、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5687251
Kind Code:
B2
Abstract:
A position measurement system includes a first part and a second part for determining a position of a first member relative to a second member by providing a position signal representing a position of the first part relative to the second part, and a computational unit comprising an input terminal for receiving the position signal. The computational unit is configured to, in use, apply a conversion to the position signal to obtain a signal representing a position of the first member relative to the second member; and apply an adjustment to the conversion to at least partly compensate for a drift of the first part or the second part or both. The adjustment is based on a predetermined drift characteristic of the first part or the second part or both respectively. The predetermined drift characteristic includes one or more base shapes of the first part and/or the second part.
Inventors:
ケーネン，ウィレム，ハーマン，ゲートルダ，アンナ
ユッセン，エミール，ジョゼフ，メラニー
ヴァン デア パッシェ，エンゲルバータス，アントニウス，フランシスカス
ヴァン リーウェン，ロベルト，エドガー
コエヴォエツ，エイドリアヌス，ヘンドリック
ユッセン，エミール，ジョゼフ，メラニー
ヴァン デア パッシェ，エンゲルバータス，アントニウス，フランシスカス
ヴァン リーウェン，ロベルト，エドガー
コエヴォエツ，エイドリアヌス，ヘンドリック
Application Number:
JP2012167132A
Publication Date:
March 18, 2015
Filing Date:
July 27, 2012
Export Citation:
Assignee:
エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．
International Classes:
G01B11/00; G01B21/00; G03F7/20; H01L21/027; H01L21/68
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Toshifumi Onuki
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